匀胶机(大型匀胶机)
匀胶机:(Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜等其用途广泛包括适合半导体大型晶圆硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,华阳板等各种胶体的工艺制版表面涂覆或光刻工
宇野泽真空泵
1.乾境的使用環境。2.空气冷却 (气冷式),可在任意地點使用。3.设计精密、结构坚固、重量轻, 易于安装及保养维修。4.运转震动低,不需用基础螺栓固定泵浦。5.运转噪音值小。6.可接受大量水蒸氣。真空度可達到 < 1 pa。
无油真空泵
无油真空泵是提高过滤效率,加强脱气效果的重要过滤配套设备。为保障过滤介质不被污染,一般均使用无油隔膜式真空泵,此类泵型是通过橡胶膜片的往返运动形成真空,其真空压力一般为0.08Mpa左右(单级),提高过滤速度关键是单位时间内的排气量,及真空泵的流量指标.